弧光室是離子注入機(jī)離子源的重要組件。不同粒子注入機(jī)廠家的弧光室有不同的形狀和規(guī)格。我公司可根據(jù)客戶圖紙加工成型。由于我們生產(chǎn)加工弧光室所需的鎢鉬原材料，所以除弧光室尺寸精度外，產(chǎn)品性能可以得到保障。
根據(jù)不同廠家設(shè)計，弧光室可能由鎢材質(zhì)或鉬材質(zhì)制成。
離子注入是現(xiàn)代集成電路制造中的一種非常重要的技術(shù)，其利用離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的摻雜，即使用鎢絲作為陰極發(fā)射電子轟擊含有特定的雜質(zhì)元素的氣體分子，產(chǎn)生電離的特定雜質(zhì)原子經(jīng)靜電場加速后打到硅單晶圓片表面，并打入半導(dǎo)體內(nèi)部，改變導(dǎo)電特性并*終形成晶體管結(jié)構(gòu)。
由于在離子源發(fā)生的電子轉(zhuǎn)換為電漿離子時，會產(chǎn)生2000℃以上的工作溫度，離子束噴發(fā)時，也會產(chǎn)生很大的離子動能，一般金屬會很快燒熔，因此需要質(zhì)量密度較大的惰性金屬，以維持離子束噴發(fā)方向，并增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料。由于鎢鉬材料高溫化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、熱變形小和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體行業(yè)離子注入機(jī)弧光反應(yīng)腔零組件及耗件多采用鎢、鉬材料制造，這些器件包括發(fā)射電子陰極的屏蔽筒、發(fā)射面板、中心固定桿、起弧室內(nèi)的絲極板等，我們統(tǒng)稱為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件。
離子注入用鎢鉬零件所用材料經(jīng)過對傳統(tǒng)鎢鉬材料工藝進(jìn)行優(yōu)化，包括細(xì)晶化、合金化處理，真空燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)致密化，二次晶粒細(xì)化控軋技術(shù)，普遍提高傳統(tǒng)鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能。
我公司生產(chǎn)的離子注入用鎢鉬零件晶粒度細(xì)化，相對密度≥99%，高溫力學(xué)性能指標(biāo)比普通鎢鉬材料明顯提高，使用壽命也明顯延長。
鎢弧光室
鉬弧光室
